墊圈式設計確保易于安裝,使其成為 MFC(質量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調節(jié)器的重要保護屏障。 多孔金屬限流過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度,有效阻止顆粒侵入,保護敏感氣體成分。
擴散器專用過濾器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結構,不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產生,對工藝室環(huán)境造成影響,有效防止氣流吹起顆?;蛘叽灯鸸杵???啥ㄖ苹O計,靈活適應各類安裝空間。
擴散器專用過濾器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結構,不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產生,對工藝室環(huán)境造成影響,有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片??啥ㄖ苹O計,靈活適應各類安裝空間。
墊圈式設計確保易于安裝,使其成為 MFC(質量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調節(jié)器的重要保護屏障。 多孔金屬限流過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度,有效阻止顆粒侵入,保護敏感氣體成分。
墊圈式設計確保易于安裝,使其成為 MFC(質量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調節(jié)器的重要保護屏障。 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度,有效阻止顆粒侵入,保護敏感氣體成分。
墊圈式設計確保易于安裝,使其成為 MFC(質量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調節(jié)器的重要保護屏障。 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度,有效阻止顆粒侵入,保護敏感氣體成分。
微信公眾號
移動端瀏覽